钟罩退火炉-钟罩退火炉-腾达海川

钟罩式退火炉每套退火炉有2个炉台、2个内罩，钟罩退火炉，一个加热罩。一个冷却罩，一只炉台在加热升温和保温时，另一只炉台处于冷却，卸料过程，同 一只加热罩交替加热2只炉台可以节省能耗，钟罩退火炉工艺，并实现连续生产。本设备采用耐热不锈钢钟罩与炉台之间严格密封，使工件材料与外界空气隔绝，在加热、保温和冷却过程中，始终处于高纯度氮、氢气体保护之中，钟罩退火炉，从而使退火材料保持表面光亮无氧化。此外，由于在炉内有高强对流风机，炉内气氛形成强对流循环，促使炉温均匀，炉内各点温差可控制在±3℃内，从而使退火材料获得均匀一致的物理机械性能。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

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